M06200 - SEMI M62 - Specification for Silicon Epitaxial Wafers Revision:SEMI M62-0514 - Superseded This Test Method does not

This Test Method does not cover measurements in the wafer edge profile

and development work

SEMI E12-91 (technical revision)

本スタンダードは同期および非同期メッセージのメッセージヘッダ，あるいは「エンベロープ」情報の作成に必要なXMLによる構造を規定する。本件はSEMIスタンダードに準拠するアプリケーションで，非同期メッセージ通信を使うものにのみ適用する。XMLはタグを使って情報を伝文化する様なソフトウエアアプリケーションに使われるが，そのタグはXMLスキーマで指定される構造とデータ型を与えてくれるものである。XMLはアプリケーション間で配送したり，経路の指定に必要な情報を構造化する用途としても使われる。個々に開発して多数の互換性のないXML用のプロトコルになってしまうのを避けるためにメッセージヘッダの標準化が必要である。本仕様を「XMLメッセージ通信に関する仕様」と呼ぶこととする。

M06200 - SEMI M62 - Specification for Silicon Epitaxial Wafers Revision:SEMI M62-0514 - Superseded This Test Method does not* This Standard has the option to purchase the Current document with a redline document (Current + Redline). The redline document is included with the Current document as a comparison tool to help identify changes that have been made between the Current version and the previous version (Superseded). If differences should exist between the redline document and the Current document, the Current version is the official and authoritative version. 1