F09600 - SEMI F96 - 液体CVD原料を入れるキャニスターのポート設定のための仕様 StdTpc-300 mm Carriers & Physical Interfaces 本スタンダードは，global Metrics Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日，global Audits

本スタンダードは，global Metrics Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年10月にwww

1  The purpose of this Standard is to standardize requirements for 45% potassium hydroxide solution used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards

all of which have been previously calibrated by a suitable method recommended by the manufacturer

This mark is readable from both the top and bottom sides of the wafer and is independent of the positional orientation of the wafer

F09600 - SEMI F96 - 液体CVD原料を入れるキャニスターのポート設定のための仕様 StdTpc-300 mm Carriers & Physical Interfaces 本スタンダードは，global Metrics Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日，global AuditsNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Gases CommitteeNorth American Gases Committee2004422North American Regional Standards Committee20046www. semi. org20047 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current