E13600 - SEMI E136 - Test Method for Determining the Output Power of RF Generators Used in Semiconductor Processing Equipment RF Power Delivery Systems Revision:SEMI E136-0122 - Current 個々の装置について最小限の情報でホスト側のソフトウェアが構築できる段階までメッセージ定義を可能とする，これがSECS-IIの目的である。また，装置側もホストについて最小限の情報を持つだけでソフトウェアの構築が可能となる。

個々の装置について最小限の情報でホスト側のソフトウェアが構築できる段階までメッセージ定義を可能とする，これがSECS-IIの目的である。また，装置側もホストについて最小限の情報を持つだけでソフトウェアの構築が可能となる。

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The objective of this Document is to provide cost-effective packing and shipping in terms of packing materials

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E13600 - SEMI E136 - Test Method for Determining the Output Power of RF Generators Used in Semiconductor Processing Equipment RF Power Delivery Systems Revision:SEMI E136-0122 - Current 個々の装置について最小限の情報でホスト側のソフトウェアが構築できる段階までメッセージ定義を可能とする，これがSECS-IIの目的である。また，装置側もホストについて最小限の情報を持つだけでソフトウェアの構築が可能となる。NOTICE: This Standard was completely rewritten in 2021. The purpose of this Test Method is to provide an accurate method for measuring the output power of radio frequency (RF) generators used in RF power delivery systems of semiconductor processing equipment. This Test Method is referred to as a preferred method of RF power measurement for conforming to SEMI E113. This Test Method specifies the testing procedures and test equipment required for